在真空鍍膜、半導體外延生長等需要真空環境的工業工藝中,模溫機的工作原理和技術實現面臨特殊挑戰。為滿足真空環境的嚴苛要求,模溫機在結構設計、傳熱方式和密封技術等方面都需要進行針對性優化。

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真空環境下,模溫機無法依靠空氣對流進行散熱,因此采用液體循環冷卻成為主要方式。其工作原理是通過封閉循環的導熱介質(如高純度硅油)將模具熱量傳遞至外部換熱器,再利用水冷或風冷進行二次散熱。由于真空環境的特殊性,導熱介質需要具備極低的飽和蒸氣壓,避免在真空狀態下揮發污染真空腔室。同時,循環泵需采用無油真空隔膜泵,防止潤滑油泄漏影響真空度。

在結構設計上,真空模溫機采用全焊接密封結構,避免采用傳統的螺紋連接或法蘭連接,減少泄漏風險。設備外殼采用高強度不銹鋼材質,并進行精密拋光處理,降低表面粗糙度,防止氣體吸附和殘留。例如,在半導體芯片制造的真空鍍膜工序中,模溫機的密封性能需達到 10?? Pa?m3/s 的超高真空標準,確保真空腔室的潔凈度不受影響。

溫度控制方面,真空模溫機采用高精度的 PID 控制算法,并結合前饋補償技術。由于真空環境下熱傳導效率較低,系統需要提前預測溫度變化趨勢,及時調整加熱和冷卻功率。同時,為避免加熱器在真空環境中因散熱困難導致局部過熱,采用分布式加熱設計,將加熱元件均勻布置在導熱介質管路中,確保溫度均勻性。

蘇州新久陽機械針對真空環境研發的專用模溫機,在技術上突破多項難題。其產品配備真空泄漏檢測系統,可實時監測設備密封狀態;采用低溫蒸發抑制技術,有效降低導熱介質的揮發量。這些技術創新使蘇州新久陽機械的真空模溫機廣泛應用于航空航天、光伏產業等高端領域,為真空環境下的精密加工提供可靠的溫度控制保障。